手机真空镀膜机均匀性

2018-01-05  来自: 东莞市兴族(纳米科技)实业有限公司 浏览次数:612

  手机真空镀膜机均匀性,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

  一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。

  厚度均匀性主要取决于:

  1。基片材料与靶材的晶格匹配程度

  2、基片表面温度

  3. 蒸发功率,速率

  4. 真空度

  5. 镀膜时间,厚度大小。

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