真空纳米镀膜机生产特点真空抽气系统的结构与工作原理
1) 真空纳米镀膜机体资料选用 SUS304 ,真空纳米镀膜机内壁进行抛光处理,外壁选用抛光后喷珠处理。
2) 真空纳米镀膜机之间选用独立门阀—插板阀隔开,能够完成有用隔断,安稳技能气体。现在咱们公司选用插板阀规划,它比现在国内通用的翻板阀密封作用非常好,更经用。
3) 传动选用磁导向,确保传动的安稳性。整条出产线的各段速度选用变频调速电机驱动,运转速度可调理。
4) 真空纳米镀膜机电气操控体系:触摸屏与 P L C 自动操控,人机对话办法来完成体系的数据显现、操作与操控
技能参数
1) 极限真空压力:6× 1 0E-4 Pa
2) 均匀出产周期:依据商品断定
3) 基片架尺度:能够依据请求定做
4) 膜层均匀性: ± 3%